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再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中 ,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度 V向上 (下 )运动 ,而且当提拉负载增大引起线速度为零时 ,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中 ,对提拉控制系统提出的主要技术指标是 ,提拉速度在 0 .2~ 1 0 .0 mm/h范围之内实现无级可调 。曲面可看作是一动线在空间运动的轨迹,该动线称为母线,母线处于曲面上任一位置时,称为素线。可利用接管柱体的素线与椭圆封头曲面相交;然后求出相应交点。交点到椭圆接管顶面的距离即为所求素线的长度。
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所以拉晶实验成本太高。而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟,得到了氩气流场分布图和热场温度分布图。对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂。本文在国产TDR-80单晶炉的基础上。降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积,严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难。出于提高生产率生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展结晶速率难以提高。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,上反射屏5、侧反射屏6和下反射屏7,均采用钨钼反射屏;籽晶杆8;所述上反射屏5和保温屏9之间设有两个可以上下的加热片10,所述两个加热片10在籽晶杆8两边左右对称设置,所述两个加热片10应尽量远离籽晶杆8,降低对籽晶杆8温度的影响,所述加热器4和加热片10为并联,操作人员可以分别控制加热器4和加热片10的启与关闭;