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单晶等径生长在忽略一些干扰因素影响情况下,主要受温度和拉速影响。如果恒定温度而仅从生长速度控制直径,外形固然可以得到快速保,但生长速度的大幅度调节会造成单晶微观质量缺陷。反之,如果恒定速度而仅从温度调节来控制直径,由于这种控制系统是一个缓慢时变,并且具有确定性扰动和随机干扰的非小相位系统,用一般常规仪表控制手段来实现自动控径极为困难。只有对温度和生长速度进行综合控制,才能完成等径自动控制。
本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,
中频炉成套设备:长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。
冶炼设备:长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。
铸造设备:长期各类高频炉,氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。
影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接,以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接,以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成,石墨具有强度高,抗热震性好,耐高 温。定时器/计数器,Watchdog等组成。数字核心的主流为嵌入式微控制器(MCU),即通常所说的单片机,输入输出通道包括模拟量输入通道(模拟量输入变换回路(将CT,PT所测量的量转换成更低的适合内部A/D转换的电压量,±2.5V,±5V或±10V),低通滤波器及采样,A/D转换)和数字量输入输出通道(人机接口和各种告信号,跳闸信号及电度脉冲等)。运行原理电气系统微机保护装置的数字核心一般由CPU。存储器。